前言
由客戶提供貼片式LED燈珠(已化學(xué)剝膠),用掃描電子顯微鏡(以下簡稱SEM)進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)的觀察與測量,以判斷其功能結(jié)構(gòu)有無異常。
參考標(biāo)準(zhǔn)
JY/T 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則
GB/T 16594-2008 微米級長度的掃描電鏡測量方法通則
樣品處理:將貼片LED放入磁控離子濺射儀,進(jìn)行鍍導(dǎo)電膜處理。
測試過程:
根據(jù)觀察位置調(diào)整馬達(dá)臺傾斜和水平旋轉(zhuǎn)的角度,調(diào)整傾斜角度時必須嚴(yán)格控制樣品臺和極靴之間的距離,以避免損傷電鏡。根據(jù)實際情況選取適當(dāng)?shù)姆糯蟊稊?shù),調(diào)整圖像至清晰,無明顯干擾橫紋。需測量的目標(biāo),在圖片整體中應(yīng)清晰可見,掃描保存后,再打開系統(tǒng)附帶的精準(zhǔn)長度測量軟件進(jìn)行測量。
效果圖