一. 產品簡介
6JA干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件(平面、圓柱等外表面)光潔度的儀器,也可以用來測量零件表面刻線,鍍層等深度。儀器配以各種附件,還能測量粒狀,加工紋路混亂的表面,低反射率的工件表面,同時還能將儀器安置在工件上,對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1-0.03微米,用測微目鏡和照相方法來評定▽10-▽14光潔度的表面。本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校,科學研究等單位。
二. 技術規(guī)格
1. 測量表面光潔度范圍:▽10—▽14(1~0.03μm)
2. 工作物鏡的數(shù)值孔徑:0.65
3. 工作距離:0.5mm
4. 儀器的視場,目視:φ0.25mm;照相:0.21 x 0.15mm
5. 測微目鏡放大倍數(shù),目視:500X; 照相:168X
6. 測微目鏡放大倍數(shù):12.5X
7. 測微鼓分劃值:0.01mm
8. 綠色干涉濾色片波長:λ≈5300Å
9. 半寬度:▽λ≈100Å
10. 工作臺升程:5mm
11. X、Y方向移動范圍:≈10mm
12. 旋轉運動范圍:360?
13. 儀器標準鏡高反射率:≈60%
14. 低反射率:≈4%
15. 可調變壓器輸入電壓:220V
16. 輸出電壓:4V-6V
17. 儀器外形尺寸:270*160*230mm
18. 儀器重量:≈5公斤