一.產(chǎn)品用途
SG-71明暗場(chǎng)金相顯微鏡廣泛的應(yīng)用于透明,半透明或不透明物質(zhì),比如 金屬陶瓷、電子半導(dǎo)體芯片、印刷電路、LCD基板、薄膜、纖維、顆粒狀物體、鍍層等材料表面的結(jié)構(gòu)、痕跡,都能有很好的成像效果。
二.產(chǎn)品特點(diǎn)
1.6″大行程移動(dòng)工作臺(tái),面積445mm×240mm,行程158×158mm,可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè),也可用于小尺寸樣品的陣列檢測(cè);
2.高性能物鏡轉(zhuǎn)換器,轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也較好控制。
3.觀察方式:明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏振光/透射光/微分干涉(選購(gòu))
三.技術(shù)規(guī)格
1.光學(xué)系統(tǒng):無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)
2.觀察頭:45°鉸鏈?zhǔn)饺空裼^察筒,瞳距52mm-75mm
3.高眼點(diǎn)目鏡:PL10×/22mm,視度可調(diào)
4.無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離金相物鏡:5×、10×、20×、50×
5.光學(xué)總放大倍率:50X-500X
6.物鏡轉(zhuǎn)換器:明暗場(chǎng)五孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽
7.6″雙層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),面積445mm×240mm,行程158x 158mm,帶金屬平板平臺(tái),右手位X、Y軸移動(dòng)手輪,可同時(shí)快速移動(dòng)
8.調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,,帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。
9.照明器系統(tǒng):反射照明器系統(tǒng): 12V100W鹵素?zé)?,光?qiáng)連續(xù)可調(diào)
透射照明系統(tǒng):?jiǎn)晤w大功率5W LED
10.簡(jiǎn)易偏光裝置:起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板