應(yīng)力儀PSV-413 的適用范圍:
l 適合于檢測(cè)復(fù)雜構(gòu)造的玻璃產(chǎn)品;
l 檢測(cè)高密度的塑料產(chǎn)品;
l 檢測(cè)光學(xué)晶體,如氟化鈣等;
l 其他利用偏光場(chǎng)進(jìn)行的檢測(cè),如SIC晶圓;
主要功能:
1. 觀測(cè)透明產(chǎn)品的內(nèi)部殘余應(yīng)力分布
2. 在量程范圍內(nèi),測(cè)量因應(yīng)力產(chǎn)生的光程差
3. 觀測(cè)高透光率晶圓內(nèi)瑕疵,如SIC晶圓
主要參數(shù):
設(shè)備名稱:應(yīng)力儀
型號(hào):PSV-413
樣品檢測(cè)區(qū)域(偏光場(chǎng)):200*200mm
目視鏡:直徑78mm
可檢晶圓尺寸:4寸,6寸
設(shè)備尺寸:291*384*388mm
重量:11KG
光源: 白色LED ,10W